CCQ-A气动超高真空插板阀
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。主要技术性能
| 适用范围(Pa) | 105～1.3x10-7 |
| 阀门漏率(Pa.L/S) | DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7 |
| 阀门烘烤温度（℃） | ≤150(除传动装置外) |
| 开阀时阀板两侧压力差(Pa) | ≤2.7x103 |
| 气源压力（MPa） | 0.4～0.6 |
| 电源电压 | 标准出厂：AC220V/50Hz 特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等 |
| 信号反馈 | 标准出厂：不带反馈信号 特殊指定：微动开关DC/AC5～240V |
主要外形连接尺寸| 型号 | 通径(DN) | ΦD | ΦD0 | ΦD1 | ΦD2 | ΦD3 | H | A | n-d | L | L1 | B | 法兰标准 |
| CCQ-50A | 50 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | / | 60 | 91 | 8-M8 | 515 | 153 | 62 | GB/T6071 |
| CCQ-63A | 63 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | / | 65 | 105 | 8-M8 | 590 | 180 | 62 | |
| CCQ-80A | 80 | 130 | 110 | 99 | 93 | / | 65 | 130 | 16-M8 | 608 | 220 | 75 | |
| CCQ-100A | 100 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | / | 70 | 152 | 16-M8 | 655 | 267 | 94 | |
| CCQ-150A | 150 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | / | 70 | 202 | 20-M8 | 707 | 350 | 94 | |
| CCQ-200A | 200 | 254 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | / | 80 | 251 | 24-M8 | 806 | 426 | 112 | |
| CCQ-250A | 250 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 85 | 300 | 24-M10 | 1125 | 550 | 112 | JB5278 |
| CCQ-300A | 300 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 90 | 352 | 32-M10 | 1195 | 613 | 140 | / |
下一个：GM高真空隔膜阀上一个：CC-A超高真空插板阀
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